针对芯片焊线后，所需诸元的量测而开发的自动度高精度量测设备。可选配芯片固晶后、产生的芯片偏移、倾斜等量测功能。
|
WM-5200 规格
|
||
|---|---|---|
|
X／Y／Z 行程
|
X轴
|
350mm
|
|
Y轴
|
300mm
|
|
|
Z轴
|
150mm
|
|
|
金属台尺寸
|
570X470mm2
|
|
|
驱动控制系统
|
独立服务器马达控制
|
|
|
X／Y／Z 轴光学尺分辨率
|
X／Y = 0.5μm，Z = 0.1μm
|
|
|
X／Y／Z 重复量测精度
|
X／Y < 1μm，Z < 0.5μm
|
|
|
X／Y／Z 量测误差值
|
X／Y < ±1μm，Z < ±0.5μm
|
|
|
X／Y 坐标标示误差
|
≦（2+L/100）
|
|
|
影像系统
|
摄像CCD
|
彩色 1/2 CCD
|
|
物镜
|
日系高解析镜头
|
|
|
物镜倍率
|
5X、20X、50X
|
|
|
视频倍率
|
136X - 1367X
|
|
|
物方视野
|
0.12 - 1.27mm
|
|
|
量测软件
|
QC3000
|
|
|
光源
|
LED
|
|
|
外型尺寸
|
1200X1300X1820(不含指示灯)
|
|
|
仪器重量
|
750kg - 900kgs
|
|
|
工作电压
|
220V(单向)
|
|
|
解析能力=0.1μm
|
1. 排除线性厚度误差20±1C，重复性< ±0.5μm
2. 当环境控制（振动）良好时，其粗糙度Rz<0.1μm，重复性将±0.3μ
3. 以上重复性为1σ
|
|
精度
|
1. 单层厚度精度
2. 包含线性厚度误差单层厚度 >50μm ： < ± 0.01 x 测量结果
3. 单层厚度 <= 50μm ： ± 0.5μm
4. 以上重复性 = 1σ （± 0.5μm）
|
佑铨科技成立于2016年，目前注册资金600万元，员工数26名，20名合作伙伴，佑铨科技是全球领先的工程与科学技术公司，拥有精密量测专业知识。主要经营范围为IC(集成电路)组装，LED及相关，也是国内影像量测仪器、检测仪器、光学尺的专业制造商，芯片制造可以比拟为盖房子，我们帮助芯片拥有好的地基，仪器协助量测检查晶圆的质量，所生产的测量仪器被国内国外客户广泛应用在产业机械与精密检测设备上，在业界口碑相传好评不断。
