Spirox MA6503D是一组高质量影像晶圆检测系统， 用来替换QC人工目视检测表面缺陷（颗粒、划痕、Pad & Bump异常等），并具备自动保存缺陷图像及坐标位置记录功能。
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MA6503D检测规格
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功能
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适用晶圆
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晶圆装卸
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载台
(Chuck)
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光学规格
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2D影像
检测能力
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3D影像
检测能力
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软件项目
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选项
(Optional)
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