【Spirox】晶圆检测系统

Spirox MA6500是一组高质量影像晶圆检测系统，用来替换IQC人工目视检测表面缺陷（颗粒、划痕等），并具备自动保存缺陷图像及坐标位置记录功能。

MA6500 检测规格
功能	取代人工进行晶圆(Wafer)进料检验，找出晶圆表面缺陷（例如：颗粒、划痕）自动留存晶圆表面缺陷图像与之相应之坐标位置图
适用晶圆	支援8寸 / 12寸硅晶圆晶圆厚度：300μm ~ 2000μm
晶圆装卸	支持12吋FOUP自动开盖功能晶圆刻号扫描 Pre-aligner (Notch定位)
光学规格	相机：6500万像素 + 1倍远心镜头检测视野 (FOV)：29 mm x 22 mm
载台 (Chuck)	可全吸平晶圆功能平台度 < 15μm X，Y轴精准度：±1.7μm 具晶圆定位功能
影像自动检测能力	缺陷尺寸大小：10μm最小检出色变检出刮伤检出污染检出制程缺陷检出
软件项目	支持晶圆刻号辨识 (OCR) 图片输出格式：.bmp or .jpg 支持在线覆查功能保存机台操作纪录 (Log) 缺陷图输出格式 (SINF File)
检测时间	90 秒 / 8寸晶圆（不含拍照与机台装卸时间） 150 秒 / 12寸晶圆（不含拍照与机台装卸时间）
选项 (Optional)	离线覆查系统客制化报表

自动光学检测