【Spirox】晶圓檢測系統

Spirox MA6500 是一組高品質影像晶圓檢測系統，用來替換IQC人工目視檢測表面缺陷（顆粒、劃痕等），並具備自動保存缺陷圖像及座標位置記錄功能。

MA6500 檢測規格
功能	取代人工進行晶圓(Wafer)進料檢驗，找出晶圓表面缺陷（例如：顆粒、劃痕）自動留存晶圓表面缺陷圖像與之相應之座標位置圖
適用晶圓	支援8吋 / 12吋矽晶圓晶圓厚度：300μm ~ 2000μm
晶圓裝卸	支援12吋FOUP自動開蓋功能晶圓刻號掃描 Pre-aligner (Notch定位)
光學規格	相機：6500萬圖元 + 1倍遠心鏡頭檢測視野 (FOV)：29 mm x 22 mm
載台 (Chuck)	可全吸平晶圓功能平台度 < 15μm X，Y軸精準度：±1.7μm 具晶圓定位功能
影像自動檢測能力	缺陷尺寸大小：10 um最小檢出色變檢出刮傷檢出污染檢出製程缺陷檢出
軟體項目	支持晶圓刻號辨識 (OCR) 圖片輸出格式：.bmp or .jpg 支援線上覆查功能保存機台操作紀錄 (Log) 缺陷圖輸出格式 (SINF File)
檢測時間	90 秒 / 8吋晶圓（不含拍照與機台裝卸時間） 150 秒 / 12吋晶圓（不含拍照與機台裝卸時間）
選項 (Optional)	離線覆查系統客製化報表

自動光學檢測