【TESCAN】納米量级 FIB-SEM

TESCAN SOLARIS 为纳米加工和纳米技术研发提供完整的纳米量级 FIB-SEM 解决方案！

TESCAN SOLARIS 完美结合高精度聚焦离子束(FIB) 和 TriLens™ 型浸没式设计的超高分辨扫描式电子显微镜(SEM)，实现离子束刻蚀和扫描式电子显微镜超高分辨率成像的最佳组合。

【產品優勢】

功能	优势
强大的扩展能力	强大的样品室扩展和样品台扩展能力，可实现12英寸晶圆检测，并可允许安装多个探测器和附件。
超高分辨率成像FIB	业内最佳的高分辨率FIB，即使在低电压下也可以实现高质量超薄TEM薄片制备。
浸没式 Triglav™ 型SEM 镜筒	电子束无交叉斑设计，确保在超低着陆能量下实现电子束敏感样品超高分辨成像。可配置镜筒内二次电子探测器和背散射电子探测器。
Orage™ 镓离子 FIB 镜筒	凭借超高的 FIB 分辨率、更大的束流范围，可以满足日益严苛的聚焦离子束纳米加工需求。
TESCAN DrawBeam™	内置优异的图形引擎DrawBeamTM，实现高精度的电子束和离子束纳米图形加工。
TESCAN Essence™	支持用户可根据需求自定义界面的模块化软件。并可以轻松的从一个多用户、多用途的工作平台转变为用于可应对重复性纳米加工任务的优化解决方案。
多种的气体使用	可选配多种用于离子束沉积和选择性刻蚀的气体，进一步增强其加工性能。扫描电镜镜筒可选配安装静电束闸，利用电子束曝光技术制备纳米图形。

【主要技术规格】

功能	技术规格
Triglav™ 型超高分辨率场发射 SEM 镜筒	肖特基场发射灯丝，保证使用寿命可达2年采用 TriLens™ 三物镜设计，可提供超高分辨模式，无漏磁分析模式和电子束无交叉模式镜筒内的二次电子探测器和带能量过滤功能的轴向背散射电子探测器电子束着陆能量：200eV-30keV (减速模式下<200eV) 通过电磁光阑实现束斑最优化探针电流：2 pA - 400 nA，连续可调视野范围：4.3mm @ WD = 5mm，>10 mm @ 最大 WD
Orage™ 镜筒	液态镓离子源，预期最短使用寿命 3000 μAh 配置压电驱光阑变换器，30孔光阑静电束闸，配置法拉第杯离子束能量范围：500 eV - 30 keV 探针电流：< 1 pA - 100 nA 视野范围：1mm @ 10 keV
电子束分辨率	nm @ 1 keV 0.9 nm @ 1 keV (样品台偏压，减速模式下) 0.6 nm @ 15 keV 0.5 nm @ 30 keV STEM
低真空分辨率	1.5 nm @ 30 keV，GSD 探测器 3.0 nm @ 3 keV，GSD 探测器
离子束分辨率	2.5 nm @ 30 keV

如欲了解更多产品信息，请与我们联系：www.spirox.com.tw/contact

TESCAN是一家专注于微观形貌、结构和成分分析的科学仪器的跨国公司，是全球知名的电子显微仪器制造商，总部位于全球最大的电镜制造基地-捷克布尔诺，且已建立起全球的销售和服务网络，在捷克、法国和美国拥有4家研发中心、2个生产基地以及6家海外子公司，已有超过60年的电子显微镜研发和制造历史。其产品主要有电子显微镜、聚焦离子束系统、多信道全息显微镜及相关分析附件和软件。

物性失效分析

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