Spirox MA6503D是一組高品質影像晶圓檢測系統， 用來替換QC人工目視檢測表面缺陷（顆粒、劃痕、Pad & Bump異常等），並具備自動保存缺陷圖像及座標位置記錄功能。
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MA6503D檢測規格
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功能
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適用晶圓
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晶圓裝卸
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載台
(Chuck)
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光學規格
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2D影像
檢測能力
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3D影像
檢測能力
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軟體項目
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選項
(Optional)
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